電（diàn）子級（jí）多晶矽還原爐鍾（zhōng）罩清洗係統

能源和環境問題日（rì）益（yì）成為各方關注的焦點（diǎn），為（wéi）了實現能源和環境的可持續發展（zhǎn），世界各國（guó）都將太陽能發電行業作為發展的重。多晶矽還是信息產業和新能源產業最基礎的（de）原材料，還原（yuán）工藝是多晶矽（guī）生產的關鍵（jiàn）工（gōng）藝和成品工藝，其工藝條件和參數控製好壞直（zhí）接影響產品質量和產量。電子級多晶矽生產工（gōng）藝要求很高，要在“無油、無水、無塵（chén）”的環境下（xià）運行。



目前多晶矽生產（chǎn）多（duō）數采用改良西（xī）門子法，用來生產半導體行業電子級多晶矽；還原爐和氫化爐是改良西門子法（fǎ）生產多晶矽（guī）的核心設備（bèi），其運行好壞直接影響多晶（jīng）矽質量及生產成本。鍾罩清洗（xǐ）不幹淨、光潔度不夠，常常導（dǎo）致矽芯（xīn）擊不穿或產品質量汙（wū）染，所以鍾罩清洗設備對多晶矽生產非常重要。

經過多年來客戶的（de）實際應用和（hé）需（xū）求，通過總結借鑒國內外經驗，德高潔對汙染和（hé）潔淨的概念和控製有（yǒu）了更全麵的認識，充分發揮高壓水清洗和吸除塵（chén）的技術優勢，研發電（diàn）子級多晶矽還原爐鍾罩清洗係統（tǒng）。

德高潔電子級多晶矽還原爐（lú）鍾罩清洗係（xì）統包括（kuò）低壓熱水清洗動力裝置、三維洗罐器、旋轉和升降執行機構、清洗工作台、萬級淨化幹燥（zào）係統、循環過濾係統、控製裝置、微負壓係統、清洗（xǐ）工作台（tái）、電氣控（kòng）製係（xì）統等，係統實現了鍾罩的全自動清洗和烘幹操作。



電子級多（duō）晶矽（guī）還原（yuán）爐鍾罩自動清洗係統特點（diǎn）：

1、多晶（jīng）矽還原爐鍾罩清洗係統以3D形式的網狀噴射來完成爐筒（tǒng）內部表麵的水力掃射，加之萬級淨（jìng）化（huà）幹燥係統，完全滿足電子級多（duō）晶矽生產的需求（qiú）。

2、自動化程度高，清洗時（shí）隻需一鍵操作即可，操作簡單方便。自（zì）動控製係統能實現對還原爐鍾罩的自動清洗和烘幹，清洗烘（hōng）幹時間、溫度、清洗、漂洗等工藝參數可以根據需要自行調整設（shè）定，同時具有半自動或手動功能。

3、在整（zhěng）個還原（yuán）爐的清洗過程中，清洗、幹燥中筒內形成微負（fù）壓狀態，防止清洗外溢，同時將底座與筒體下法蘭處的汙染物等一並吹掃，通過排汙管排（pái）出，從（cóng）而保證了（le）整（zhěng）個（gè）過程不會對潔（jié）淨區造成（chéng）汙染。全密閉式清洗烘幹係統，使汙染物(廢氣（qì）、廢水等（děng）)在受控的條件下，按設計（jì）出口排放，基本消除了（le）對現場及操作（zuò）人員的汙染。

4、德高潔（jié）電（diàn）子級多晶矽鍾罩清洗係統性（xìng）能可靠，核心部件、元件和附件原裝進口。電子（zǐ）級多晶矽還原爐鍾罩清洗係（xì）統的適應範圍廣，一套係統可以實現多（duō）種（zhǒng）型號鍾罩的清洗烘幹。

多晶矽（guī）鍾罩的清洗方式多種多樣，有高壓清洗、化學溶劑低壓清洗、機械拋光等，德高潔多晶矽鍾罩清（qīng）洗係統覆蓋了國內90%的多晶矽企業，為（wéi）多（duō）晶矽行業提供（gòng）了幾十套還原（yuán）爐清（qīng）洗係統。這套電子級多晶矽還原爐鍾罩清（qīng）洗係統經過反複摸索求證，可根據（jù）不同的鍾罩、不同車間廠房不同能（néng）源條件，提（tí）供個性（xìng）化設計（jì），節（jiē）省了人力（lì）物力，大大降低勞動強度，這也對提高多晶（jīng）矽品質產生重要意義，取得了一定（dìng）的經（jīng）濟（jì）效益和社會效益（yì）。