德高潔：大（dà）型多晶矽還原爐鍾罩內部“去人化環保化”清洗（xǐ）設備

多晶矽是微電子行業、半導體行業、光伏行業的基礎材料，在多晶矽生產過程中，還原爐鍾罩表麵上會沉（chén）積一定厚度的多晶矽副產物、矽粉等，在下一爐生產時會（huì）影（yǐng）響還原爐鍾罩的反射效率、產品質量，所以多晶矽棒生長完成並從（cóng）還原爐內拆除完之後，需要對還原爐鍾罩內壁進行清洗（xǐ）烘幹，保證其內部的幹燥潔淨。

在國內多晶矽廠家（jiā）生產初期，還（hái）原（yuán）爐鍾罩（zhào）清洗的主（zhǔ）要方式是人工清洗（xǐ），將還原爐鍾罩放到（dào）固定位（wèi）置後，清洗人員配好（hǎo）清洗液（yè），穿（chuān）戴好全套的防護用品後，用高壓（yā）水槍噴射到內壁上對（duì）附著物依次進行純水清洗和清洗（xǐ）液清洗，對部分清洗不（bú）幹淨的部位（wèi）用酒精擦拭，再用高溫壓縮空氣進行烘幹。

由於每一（yī）個生產（chǎn）周（zhōu）期結束後均需要對還原爐鍾罩進（jìn）行清（qīng）洗，為保證多晶矽產品（pǐn）的品質，對還原爐鍾罩內表麵的潔淨要（yào）求十分苛刻，而對於大型還原爐（lú）鍾罩來說，采用（yòng）人工清洗存在清洗不幹淨、清洗的一致性也難以（yǐ）保（bǎo）證、浪費（fèi）人力的缺（quē）陷，且人工配堿和噴（pēn）洗不安全，稍有不慎堿液容易濺到身上造成傷害，如何減少人工參與，實現更安全、環保的清（qīng）洗方式成為多晶矽還原爐鍾罩內部清洗的難（nán）題。

德高潔多晶矽還原爐鍾罩自動化清洗係統，由高壓熱水清洗係統、熱風淨化烘幹（gàn）係統、控製係統等組成，係統操作簡單，自動化程度高，整個清洗工藝包含：還原爐（lú）鍾罩到（dào）位→預清洗→清洗劑(堿液)清洗（xǐ）→漂洗→高壓純水衝（chōng）洗→淨化熱空氣幹燥→常溫幹燥→鍾罩吊走，全程僅需人工輔助作（zuò）業（yè），解決傳統（tǒng）人工清洗存在不安全，不環保，清洗效果差，自動化程度低，效率不高的缺（quē）陷（xiàn）。
 
係統采用密閉（bì）式高（gāo）壓水射流清洗係統，清洗時三維清洗（xǐ）噴頭由（yóu）高壓（yā）熱（rè）水（shuǐ）動力（lì）裝置射出高壓水流作為驅動動力，對鍾罩表麵形成（chéng）360度網狀噴射表麵，三維（wéi）旋轉噴頭自由升降，因此可以全麵的對鍾罩進行噴射清洗，清洗時用專用清洗劑等為主要清洗液，用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗，最後用高純水衝洗（xǐ）完成清洗（xǐ）過程，能夠保證清洗的一致（zhì）性和均勻性。

全密閉式清洗烘幹（gàn）方式使清洗安（ān）全可靠，不汙染環境，保護人身健康不受危害，清洗後用經過三級淨化（huà）(10萬級)的純淨空氣，梯級加熱，保證烘幹完（wán）的鍾罩不再結露，可直接進入生產作業，有（yǒu）效提高自動化程度和生產效率。

洗滌後的含酸或堿液廢水、廢渣，排放到需方指定處，由需方自行處理（lǐ），配排汙水(池、槽)溝；清洗和烘幹產生的廢氣做室外排空排放。係（xì）統采用PLC+觸摸屏柔性自動控製（zhì）係統，實現對還原爐鍾罩的自動清洗和烘幹同時具有半自動或手（shǒu）動功能，可以在（zài）一套係統實現多種型號還原（yuán）爐鍾罩的清洗烘幹。
 
德高潔是（shì）一家專業清潔環保（bǎo）設備供應（yīng）商，在環保除塵、高壓（yā）清洗機（jī）、淨化成套裝備、工業設備清潔領域已積累了近三十年的業（yè）內寶貴經驗，公司擁有20餘人研發（fā）團隊，長期服務於國企、軍工、外資、上（shàng）市公司等500強企業，針對多晶矽（guī）還原爐鍾罩的清（qīng）洗，德高潔（jié）可根據（jù）使用方不同還原爐（lú）鍾（zhōng）罩、車間（jiān）廠房的情況，能源條件不同，提供個性化設計，目前，德高（gāo）潔在多晶矽還原爐清洗行（háng）業已擁有國內90%的用戶，為（wéi）多晶矽行業提供了上百套還原（yuán）爐（lú）清洗係統，並在北京、上海、深圳、成都（dōu）、西安、武漢均設有（yǒu）分公司及辦（bàn）事處，服務體係網絡健全，零配件（jiàn）充足。