德高潔多晶矽還原爐鍾罩清洗係統及清洗注意事項（xiàng）

目前，隨著光伏產（chǎn）業的快（kuài）速發展，對多晶矽的需求量也日趨增大。在多晶矽生產設備中，還原爐是整個生產係統的關鍵部件，多晶矽生（shēng）產企業要（yào）實現節能降（jiàng）耗就（jiù）必須（xū）嚴格把控還原爐的（de）運（yùn）行。

眾（zhòng）所周知，對（duì）還原爐內壁進行清洗處理，就是降低（dī）能耗的一種有效的方（fāng）式（shì），通過提高還原爐內壁光潔（jié）度及光亮度，使還原爐在矽棒生長過程中，爐壁（bì）在高（gāo）溫狀態（tài）下，對（duì）熱輻射反射（shè）率的最大化，從而起到降低（dī）能耗的作用。



德（dé）高潔多晶矽還原爐鍾罩清洗係統（tǒng）是以高壓清洗機為主機，以高壓水射流為動力的自驅動三維旋轉噴頭形成360°的網狀高壓水（shuǐ）柱噴（pēn）射表（biǎo）麵，從而完成鍾罩內部表麵的水（shuǐ）力掃射，並采用專用清洗劑等（děng）為主要清（qīng）洗液，先用純水(去離子水或叫（jiào）脫鹽水（shuǐ）)漂洗，之後再采用高（gāo）純水衝洗，最（zuì）終完（wán）成清洗過程。

一（yī）、工（gōng）作流程

還原（yuán）爐鍾罩到位—預清洗—清（qīng）洗劑(堿液)清（qīng）洗—漂洗—高純水衝洗—淨化熱空氣幹燥—常溫幹（gàn）燥—鍾罩吊走。

二、係統特點

1、德高潔多晶矽還原爐鍾罩清洗係（xì）統采用進口高壓泵，耐酸堿、耐高溫。清洗作業時三維旋轉噴頭實現自（zì）驅動旋轉、自動升降、全方位自動清（qīng）洗，保證多晶矽的純度；

2、設置10萬級空氣淨化換熱裝置代替原氮氣電加熱幹（gàn）燥還原爐體工藝；

3、自（zì）行研發設計的自驅動旋轉升降噴（pēn）射機構，一套（tào）係統實現多種型（xíng）號還原爐鍾罩的清洗烘（hōng）幹；

4、由於清洗過程中會有氫氣和酸性物質產生（shēng），德高潔多晶矽還原爐鍾罩清洗係統采用全封閉式清洗裝置可完美（měi）解決二（èr）次汙（wū）染；

5、德高潔多晶矽（guī）還（hái）原爐鍾罩清洗（xǐ）係統充分利用資源，設計了高壓堿液和清（qīng）水（shuǐ）的供給和分開回收裝（zhuāng）置，並進行淨化使後序清洗水（shuǐ）用於前序的漂洗工序；利（lì）用多晶矽生產廠家的蒸汽餘熱將清洗介質加熱，從而改變（biàn）原電加熱工藝。

三、注意事項

多晶矽還原爐內的殘留物及清洗液具有（yǒu）腐蝕性，同時清洗中殘留（liú）氯矽烷會發生水解（jiě）伴有氫（qīng）氣產生，容易產生爆鳴燃燒。因此，現場操作中，需要做好安全防護措施。



1、清洗過程中必須穿戴好勞保用品，戴防護手套；

2、用氫氧化鈉溶液擦洗基盤時操作（zuò）要緩慢，以免（miǎn）摩擦生熱引起著火；

3、基盤清洗過程中要避免溶液（yè）流進進（jìn）料管和尾氣（qì）管內造成二次汙染，德高潔多晶（jīng）矽還原爐鍾罩清洗係統采用全封閉式清洗裝置（zhì）可完美解決二次汙染的問題；

4、清洗中要保證將鍾罩烘烤幹，避免（miǎn）有殘留水分；

5、清洗劑的選擇對清洗（xǐ）效果和作業安（ān）全有直接影響，這方麵我公司積累了豐富的實踐經驗解決閃（shǎn）爆等（děng）問題。