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德高潔多晶矽還原爐鍾罩（zhào）清洗係統成（chéng）為首選清潔工藝
時間：2016-04-27 來源： 北京德高潔清潔設備有限公司（sī）
多晶矽，是單質矽的一種形態，多晶矽材料是光伏產（chǎn）業（yè）的基礎。在生（shēng）產中，還（hái）原爐每運行一個周期，其（qí）內表麵都會殘留無定形矽（guī），同時（shí）含有氯（lǜ）矽烷水解物及其他粉塵雜質。因此每運行一個周期需要采用清洗液，並根據（jù）殘留物分布情況對還原爐基盤和（hé）鍾罩分（fèn）別采用（yòng）特定（dìng）的清（qīng）理工藝進行處理（lǐ）。還原工藝是多晶矽生產（chǎn）的（de）關鍵工藝，其工藝條件和參數控製好（hǎo）壞直接影響產品質量和產量。
多晶矽在整個生（shēng）產過（guò）程中，對產品質量的（de）控製要求很高，對還原爐的沉積環境的潔淨（jìng）度要（yào）求特別關鍵，任何顆粒性雜質、油脂等物質餘留在爐內，都（dōu）會（huì）對產品質量造成影（yǐng）響。北京德高（gāo）潔清潔設備有限公司經過研發設計並製造出了多晶矽自（zì）動化還原爐鍾罩清洗係統，可以完全將（jiāng）多晶矽還原爐鍾罩清洗幹淨，滿足生產需求。
德高潔多晶（jīng）矽還原爐鍾（zhōng）罩清洗係統是以高壓清洗機為主機，以高壓（yā）水射流為動力的自驅動三維（wéi）旋轉（zhuǎn）噴頭形成360°的網狀高壓水柱噴（pēn）射表麵，從而（ér）完成鍾罩內部表麵的水力掃射，並采用專用（yòng）清洗劑等為主要（yào）清洗液，先用純（chún）水(去離子水或叫脫鹽水)漂（piāo）洗，之後再采用（yòng）高純水衝洗，最終完成清洗（xǐ）過程。
目前國內（nèi）多晶矽鍾罩清洗方主要有高壓清洗、化學溶（róng）劑低壓清洗、機械拋光等清洗方法，但德高潔多晶矽還原爐鍾罩清洗係統更具特點：
1、核心部件高壓泵采用進口耐酸堿、耐高（gāo）溫、全不（bú）鏽（xiù）鋼（gāng）的加壓泵，清洗作業時三維旋轉噴頭可實現自驅動旋轉（zhuǎn）、自動升降、全方位自動清洗，並可保證多晶矽的純度；
2、利用多晶矽生產廠家（jiā）的蒸汽餘熱將清洗（xǐ）介質加熱，從而改變原電加熱工（gōng）藝；
3、利用多晶矽生產廠家（jiā）的廠家蒸汽餘熱，設置10萬級空氣（qì）淨（jìng）化換熱裝置代替原氮氣（qì）電加熱幹燥還原（yuán）爐體工藝；
4、北京德高潔（jié）清潔設備有限公司自（zì）行（háng）研發設計的自驅動旋轉升降噴射機構可適應各規格（gé）的還原（yuán）爐體；
5、由於（yú）清洗過程中會有氫氣和酸性物質產（chǎn）生，所以必須解決二次汙染問題（tí）。我公司自行設計的全封閉式清洗裝置可完美（měi）解決（jué）二次汙（wū）染；
6、設計出高壓堿液和清水的供給和分（fèn）開回收（shōu）裝置，並進行淨化使後序清洗（xǐ）水用（yòng）於前序的（de）漂洗工（gōng）序，充分利（lì）用了廢水資（zī）源（yuán）。
還原爐沉積多晶矽是間歇操作，一個運行周期結束後需要打（dǎ）開鍾罩收割矽棒，然後進行基盤（pán）清理，再裝矽芯進（jìn）行下一個周（zhōu）期的化學氣相沉積。北京德高（gāo）潔清潔設備有限公司研發生產的（de）多晶矽自動化還原爐（lú）鍾罩清（qīng）洗係統有效解決了生產中的實際問題，方便、快捷、處理效果好，目前已成為多晶矽還原爐鍾罩（zhào）清潔的首選。
- 標（biāo）簽：
- 多晶矽
- 清洗係統（tǒng）
- 還原（yuán）爐鍾罩
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