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電子級多晶矽還原爐鍾罩自動清洗係統成功問世
時間：2017-02-27 來源（yuán）： 北京德高潔清潔設備有限公司
多晶矽是用工業矽通過化（huà）學、物理途（tú）徑提純製得，多晶矽主要用於生（shēng）產單晶矽和衛星太陽能（néng）電池。單晶矽即矽半導體是（shì）多晶矽的衍生產品，是製造繼承電路和電子（zǐ）元件的優質材料，被廣泛應用於電子工業（yè）中。
還原（yuán）爐沉積多晶矽（guī）是間歇操作，一個（gè）運行周（zhōu）期內，矽棒不斷長（zhǎng）大，一個運行周期結（jié）束後打開鍾罩（zhào）收割矽（guī）棒。但在運行期內，基盤及鍾罩表麵均（jun1）會產生（shēng）一層土黃色粉末，其主要成分是無定形矽。在收割矽棒後，需要進行基盤和鍾罩的清理，再裝矽（guī）芯進行下一個周期的化學氣相沉積。
還原爐鍾罩汙染物（wù）易造成內表麵熱（rè）量反射減少，使生產能耗增加；電極周圍（wéi）汙染（rǎn）物降低了點擊的絕緣而導致運行（háng）過程（chéng）中接地故障、倒棒等生產事（shì）故。而用（yòng）於電（diàn）子行業的多晶矽對產品質量純淨度的（de）控製要求更高，
隨著我國半導體工（gōng）業發展，對多晶矽純度要求越來越高，還原爐沉積（jī）環境的潔淨度就顯得（dé）特別關鍵，任何顆粒性雜質、油脂等物質餘留在爐內，都會對產品（pǐn）質量造成影響。那麽，如何清（qīng）理能方便快捷，同時效果更佳？
多晶矽（guī）還原爐清洗係統始於2009年，國內第一家研發設計製造並獲得實用新型專利是北京德高潔清（qīng）潔設備有限公司，該公（gōng）司多晶矽（guī）還原爐鍾罩（zhào）清洗係統覆蓋了國內多家多晶矽生產企業。早期（qī）有高壓清洗、化學溶劑低壓清洗（xǐ）、機械拋光等，但大多釆用堿液中壓清洗，這些清（qīng）洗方式不僅不能將鍾罩清洗幹淨，還會損（sǔn）傷表麵鍍銀的還原爐鍾罩，為攻克這一難題，一款全新的用於電子級的多晶（jīng）矽還原爐鍾罩清洗係統應（yīng）運而生。
電子級多晶矽還原爐鍾罩自動清洗係統特點：
1、多晶矽還原爐鍾罩清洗係統以（yǐ）水為動力，以水力（lì）自驅（qū）動（dòng）三維洗罐（guàn）器為（wéi）噴頭，形成360° 3D形式的網（wǎng）狀噴射來完成爐筒內部（bù）表麵的水力掃射。
2、采用可以旋轉和升降的清洗（xǐ）吹幹執行機構，根據還原爐每個（gè）視孔鏡相對（duì）原點的相對位置進行準確定位。可自動切換不同（tóng）清（qīng）洗液及吹幹（gàn），通（tōng）過控製係統可對（duì）清洗、吹幹時間等進行調整。清洗（xǐ）時隻需一鍵（jiàn）操作即可，操作簡單方便。
3、根據還原爐（lú）底部法蘭的結構特設計升級後的清洗工作台，不僅可以（yǐ）滿足對內壁和視孔鏡的清洗，同時也滿足了底部法蘭的清洗。可實現對法蘭內邊緣的清洗，保證整個法蘭底部（bù）都被清洗液覆蓋，並（bìng）清洗、吹幹。
4、在整個還（hái）原爐的清洗（xǐ）過程中，清洗、幹燥中筒內形成微負壓狀態，防止清洗外溢，同時將底座與筒（tǒng）體下（xià）法蘭處的汙染物等一並吹掃，通過排汙管排出（chū），從而保證了整個過程不會對潔淨區造成汙染。
經過實際應用，多晶矽還原爐清洗係統整套係統可實現全自動化清洗操（cāo）作，在一個工作平台上，一次吊裝可依次（cì）實現自動清洗烘幹全部功能，完全（quán）實現無死角清洗，同時具有完善的聯鎖和保護功能（néng）。
- 標簽：
- 多晶矽
- 還原爐鍾罩
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