改良西門（mén）子法多（duō）晶矽還原爐鍾（zhōng）罩（zhào）自動化清洗（xǐ）係統

隨著（zhe）信息化技術和（hé）太陽能光伏產業（yè）的迅速發展（zhǎn），多晶矽作為集成電路和太陽能光伏發電的基礎原材料，在國內外市場的需求量不斷增加，簡單（dān）來說，多晶矽可以用於製備單（dān）晶矽，其深加工產品廣泛用於半導體工業中，作為人工智能（néng）、自動控製、信息處理、光矽（guī）轉換等器（qì）件的基礎材料。同時，由於能源（yuán）危機和環境保護的要（yào）求，全球正積極（jí）開發利用可再生能（néng）源，大陽能光伏（fú）發（fā）電作（zuò）為可再生資源之一備受關注，突顯出著多晶矽在新（xīn）能源中的重要性；由於多晶矽產品需求的多樣化，對多晶矽純度的要求也大不相同，目前多晶矽（guī）可以分為太陽能級多晶矽（guī）（光伏發電）、電子級多晶矽（半導體集成電路）、區熔級多晶矽（guī）（電子級多晶矽的更高端產品）。

改良西門子法被公認為是多晶矽提純可靠成熟的工藝（yì）技術，同時也已被國（guó）內外絕（jué）大多數廠商采用（yòng），多（duō）晶矽還原爐作為改（gǎi）良（liáng）西門子（zǐ）法生產多晶矽的核心設備，決定（dìng）了係統產能、能耗、環保指標以及（jí）可靠性、安（ān）全性的關鍵因素。還原爐在生產過程中，由於還原爐內反應溫度較高，每（měi）一輪沉積反應後，在還原爐鍾罩內壁粘附著一些雜質，根據多晶矽生產原理及實際生產情況（kuàng）分析，鍾罩（zhào）表麵主要汙染物為無（wú）定形矽粉，其次為多晶矽顆粒物、氯矽（guī）烷水解物及部分粉（fěn）塵雜質（zhì），這些雜質不僅影響多晶矽（guī）的品質，還使鍾罩內表麵的熱量反射減少，增加電耗，因此，為（wéi）保障還原（yuán）爐鍾罩表麵（miàn）的潔（jié）淨度，必須對還原爐鍾罩進行清洗及烘（hōng）幹作業（yè）。
 
以往，行業內（nèi）普遍采用（yòng）的方法是通過人工加化學藥劑的方式（shì）對（duì）還原爐（lú）鍾罩（zhào）進（jìn）行清洗，清洗過程中，人工穿戴（dài）好防護服（fú），手持高（gāo）壓水槍（qiāng）噴射到內壁上對附著物依次進行純水（shuǐ）清洗和清洗液清洗，對部（bù）分清洗不幹淨（jìng）的（de）部位用酒精擦（cā）拭，然後（hòu）用（yòng）高溫壓縮空氣進（jìn）行烘幹。這種清洗方式，存在清洗效果不徹底、效率低下、浪費人力的（de）缺陷。並且，還原（yuán）鍾罩內會有各種有毒有害氣體溢出或殘（cán）留，給清理（lǐ）人員帶來健康和安全風險，清洗時，稍有不慎（shèn）化學清洗（xǐ）機容易濺到身上造成傷害。

為解（jiě）決傳統人工清洗方式帶來的諸多危害（hài），德高潔自主研發並曆經四代（dài）改（gǎi）進升級（jí）還（hái）原爐鍾罩高壓水自動化清洗係統，係統由低壓熱水清洗動力裝（zhuāng）置、三維洗罐（guàn）器、旋轉和升降執行機構、清洗工作（zuò）台、萬級淨化幹燥係統、循環過濾係統、控製（zhì）裝置、微負壓係統、清洗工作（zuò）台、電氣控製係統等組成，能（néng）夠代替人工實現還原爐鍾罩的（de）全（quán）自動清洗和烘幹操作。解決（jué）還原爐鍾罩清（qīng）理過程中存在的效率低、清理效果差（chà）、安（ān）全（quán）隱患等問題，實（shí）現自動（dòng）化高效清（qīng）理的效果。

德（dé）高潔多晶矽還（hái）原爐鍾罩（zhào）清（qīng）洗係統是以高壓清（qīng）洗機（jī）為主（zhǔ）機，以高（gāo）壓水（shuǐ）射流為動力的自驅動三維旋（xuán）轉噴頭形成360°的網狀（zhuàng）高壓（yā）水柱噴射表麵，從而完（wán）成鍾罩內部（bù）表麵的水力掃射，並采用專用清洗劑等為主要清洗液，先用脫鹽（yán）水預（yù）清洗再依次用溶液、脫（tuō）鹽水漂洗，之後（hòu）再采用高純水衝洗，從而完成清洗過程，清洗工藝完成後（hòu），采用（yòng）經過純淨空氣(萬級)烘幹加熱，達到工藝要求的幹燥度。
 
德高潔多（duō）晶矽還（hái）原爐鍾罩清洗係（xì）統自動化程度高，用PLC+觸摸屏柔性自動控（kòng）製係統，能（néng）實現對還原爐鍾罩的自動清洗和烘幹，清洗烘（hōng）幹時間、溫度、清洗、漂洗等（děng）工藝（yì）參數可以（yǐ）根據需要自行調（diào）整設定，同時（shí）具有半自動或手動功能（néng），一次吊裝在（zài）一個工作台上完成全部清洗（xǐ）、烘幹過程，可實現遠程對（duì）樓下設備的控製和主要參數監控。

全密閉式清洗（xǐ）烘幹係統，有效防止清洗（xǐ）時高壓（yā）水射流噴射出（chū）鍾罩外，使汙染物(廢氣、廢水等)在（zài）受控（kòng）的條件（jiàn）下，按設計（jì）出口排放（fàng），有效避免人員安全隱（yǐn）患及環境汙染事故，係統核心部件均為原裝進口，采用歐洲標準，保證了多（duō）晶矽鍾罩清洗係統（tǒng）性能的可靠，可以在一套（tào）係統實現多種型（xíng）號鍾罩的清洗烘幹。

為了滿足多晶矽（guī）日益激增的市（shì）場需求，保障多晶矽生（shēng）產質量，多晶（jīng）矽企業（yè）除了在生產能力和技術上有所提升之（zhī）外，對多晶矽生產設備的潔淨度也不可忽（hū）視，如何實（shí）現多晶矽還原爐鍾罩的高質量清洗，德高潔多晶矽還原爐鍾罩自動化（huà）係統一直“靠實力（lì）說話”，憑借專業團隊、可靠硬件設備、合理工藝、自動化技術等多方麵結（jié）合，為用戶提供一套安全（quán）、環保、高效、高質量的（de）多（duō）晶矽還（hái）原（yuán）爐鍾罩（zhào）自動化清（qīng）洗解（jiě）決方案。目前，德（dé）高潔在多晶矽還原爐清洗行業已擁有國內90%的（de）用戶，為（wéi）多晶矽行業提供了幾十套還原爐清洗係統。