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首頁 > 技術（shù）文章

多晶矽自動化還原爐鍾罩（zhào）清洗（xǐ）係（xì）統

時間：2016-03-09     來源： 北京德高潔清潔設備有限公司

改良西門子法是一種化學方法（fǎ），主要由三（sān）氯氫（qīng）矽與氫氣在1050℃～1150℃，一定（dìng）壓力下進行還原氣象沉積反應生產高純多晶矽，該工藝一直是半導體（tǐ）行業電（diàn）子級多晶矽生產最（zuì）主要（yào）的工藝方法。其中，還原爐和氫化爐是改良西（xī）門子法生產（chǎn）多晶矽的核心設備，其運行（háng）好壞直接影響多晶矽質量及（jí）生產（chǎn）成本。還原（yuán）爐和氫化（huà）爐為電耗（hào）較高的（de）設備，一般企業為降低電耗及成本，大都釆取調（diào）整工（gōng）藝參數、提供進（jìn）料溫度、提（tí）高冷卻水溫、清（qīng）洗鍾罩等方法，其中（zhōng）鍾罩清洗對多晶矽生產非常重要（yào），如果鍾罩（zhào）清洗不幹淨（jìng）、光潔度不夠，常常會導致矽芯擊不穿或對產品質量汙染，因此擁有一套（tào）完善的多晶矽還（hái）原（yuán）爐清洗係統對多晶矽生產廠家顯得尤為重要。
 
多晶矽自動化還原爐鍾（zhōng）罩清（qīng）洗係統
 
國（guó）內多晶（jīng）矽鍾罩清洗方式多種多樣，有高壓（yā）清（qīng）洗、化學溶劑低壓清洗、機械拋光等，但大多釆（biǎn）用堿液（yè）中壓清洗。蘑菇视频在线观看免费在使用過程中發現這些清洗方式不能將鍾罩清洗幹淨，不能滿足（zú）生產需求。為此，北京德（dé）高潔清潔設備有限公司經過研發設（shè）計並製造出了多晶矽自動化還原爐（lú）鍾罩清洗係統。
 
三（sān）維洗罐器工作狀態
 
多晶矽自動（dòng）化還原爐鍾罩清洗係統是以高壓水射流為動力的自驅動三維旋轉噴頭形成360°的網狀高（gāo）壓水柱（zhù）噴射表麵，從而完成鍾罩內部表麵的水力掃射，並采用專用清洗劑等為主要（yào）清洗液（yè），先（xiān）用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗，之後再采用高純（chún）水衝洗，最終完成清洗過程。具體特點如下：
 
多晶矽還原爐鍾罩清洗（xǐ）前後對比
 
1、核心部件高壓泵采用進口（kǒu）耐酸堿、耐高溫、全（quán）不鏽鋼（gāng）的加壓（yā）泵，清洗（xǐ）作業時三維旋轉噴（pēn）頭可實現自驅動（dòng）旋轉、自（zì）動（dòng）升降、全方位（wèi）自動清洗，並可保證多晶矽的純度；
 
2、利用多晶矽生（shēng）產廠家的蒸汽餘熱將清洗介質加熱，從而改變原電加熱（rè）工藝；
 
3、利用多晶（jīng）矽生產（chǎn）廠家的廠家蒸汽餘熱，設置10萬級空氣淨化換熱裝置代（dài）替（tì）原氮氣電加熱幹燥（zào）還原爐體工藝；
 
4、北京德高潔清（qīng）潔設備有限公司自（zì）行研發設計（jì）的自驅動旋轉升（shēng）降噴（pēn）射機構可適應各規格的還原爐體；
 
5、由於（yú）清洗過程中會有氫氣和酸性物（wù）質（zhì）產生，所以必須解決二次汙染問題。我（wǒ）公司自行設計的全封閉式清（qīng）洗裝置可完美解決二次汙染；
 
6、設計（jì）出高壓堿液和清水的供給和分開回收裝置，並進行淨（jìng）化使後序清洗水用於前序的漂洗工序，充分利用（yòng）了廢水資源。
 
實際使用證明，北京德高潔清潔設備有限（xiàn）公司研發生（shēng）產的多晶矽自動化（huà）還原爐鍾罩清洗係統有（yǒu）效解決了生產中的實際問題，為（wéi）公司節能降耗（hào）提供了有利條件，適用於在全國範圍推廣應用。
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  • 多（duō）晶矽
  • 自動化
  • 還原爐鍾罩清洗係統
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