悶聲(shēng)幹大事!德高潔開啟電子級多晶矽還原爐鍾罩清洗係統新(xīn)紀元!

    時間:2023-03-06 17:05:00作者:LeeZhou來源:德高潔清潔設備分享到:QQ空間新浪微博騰訊微博(bó)人人網微信

    電子級多晶矽是我國發展集成電路產業的戰(zhàn)略原材料,長期以來,生產技術一直由國(guó)外壟斷,成(chéng)為中國發展集成電路(lù)產業的瓶頸。隨著國內企業的不(bú)斷努力,近年來國內(nèi)電子級多(duō)晶矽(guī)迎(yíng)頭趕上,擺脫國外進口(kǒu)依賴,在質量、產量、出口等方麵取得不錯成績,未來,中國多晶矽生產在全球市場具有良好的發展前景。

    由於電子級多晶矽高純度的規格,為達到生(shēng)產要求,企(qǐ)業不僅在生產工藝、生產設備上不斷升級,為確(què)保(bǎo)電子級多晶矽質量不(bú)受更多(duō)外在因素(sù)影響,對生(shēng)產環境也近乎達到苛刻的要求,目前電子級多晶矽生產的主流方式是(shì)西門子改良法,還原爐作為改良西門子法生(shēng)產多晶矽的核心設備,是影響多(duō)晶矽(guī)生產和產能的關鍵因素,任何顆粒性雜質、物料等物質餘留在爐內,都會對產品質量造成影響。

    在多(duō)晶矽(guī)生產過程中,多晶矽還原爐鍾罩內壁會(huì)被高溫混合氣體燒黑,表麵沉積一定厚度的(de)多晶矽、無定型(xíng)矽、高矽氯聚物等雜物,導致還原(yuán)爐內表麵粗糙不平等,影響生產質(zhì)量、良品率低、生產成本上升、生產效率下降,所以在(zài)還(hái)原爐運行一個周期結束後,必須對還原鍾罩內部進行清洗(xǐ),確保電子級多晶矽(guī)在高純環(huán)境下(xià)生產。
     
    德高潔電子級多晶矽(guī)還原爐鍾罩清洗係統

    德高潔作為一家專業的環保設備供應商,早在2009年就研發出多晶(jīng)矽還(hái)原爐清洗係統,並經(jīng)過對客戶的實際應用和需求,充分發揮高壓水清洗和吸除塵的技術優勢,完成了(le)電子級多晶(jīng)矽還原爐鍾罩清洗(xǐ)係統研發,近年來,德高潔緊跟多晶矽行業生產腳步,技術也在不斷升級更新,一直保持前沿清洗技術,為多(duō)晶矽廠商提供與電(diàn)子級多晶矽生產技術並駕(jià)齊驅(qū)配套清洗解(jiě)決方案,旨為電子級多(duō)晶矽的高純度生產助力。

    德高潔電子級多晶矽還原爐鍾罩清洗係(xì)統包括低壓熱水清洗動力裝置、三維(wéi)洗罐(guàn)器、旋轉和(hé)升降執行機構、清洗工作台、萬級淨(jìng)化幹燥係統(tǒng)、循環過濾係統、控製裝置、微(wēi)負壓係統(tǒng)、清洗工作(zuò)台、電氣控製係(xì)統等,係(xì)統核(hé)心部件、元件和附件原裝進口,在確保係統運行穩定可靠前提下,完成對電子級多晶矽還原爐鍾罩的全自動(dòng)清洗和烘幹操(cāo)作。

    係統以高壓水射流(liú)為動力驅動三維洗罐器,形成360°的網狀噴射表麵,完成鍾罩內部表麵的水(shuǐ)力掃射,用氫氧化鈉溶液等為主要清洗液,用純水漂洗,用高純水衝洗完成清洗過程;隨後用(yòng)經過三級淨化(10萬級)的純淨空氣,加熱後(50~80℃)烘幹加熱鍾罩,再逐步降溫到常溫,通過連續幹燥,完成幹燥過程。
     
    高壓水清洗執行機構工作狀態

    全密閉(bì)式(shì)清洗烘幹係統,使汙染物(廢氣、廢水等)在受控的條件(jiàn)下,按設計出口排放,基本消除(chú)了對環境境汙染及現場操作人員的安全隱患。係(xì)統加多處安全互鎖功能(樓上、樓(lóu)下操作,缺水保護,超壓保護、漏電保護,水風(fēng)工作互鎖(suǒ)等),確(què)保安全運行。

    德高潔電子級多晶矽鍾罩清洗係統(tǒng)自動化程(chéng)度高,采用PLC+觸摸屏柔性自動控製係統,能(néng)實現對還原爐(lú)鍾罩的自動清洗和烘(hōng)幹(gàn),清洗烘(hōng)幹時間(jiān)、溫度、清洗(xǐ)、漂洗等工藝參數可以根據需要自行調整設定,同時具有半自動或手動功能,一次吊裝在一個工作台上完成全(quán)部清洗、烘幹過程,可實現遠程對樓下設備(bèi)的控製和(hé)主要參(cān)數(shù)監控(kòng)。
     
    電子級多晶矽還原(yuán)爐鍾罩清洗(xǐ)係統控(kòng)製裝置

    除此之外,德高(gāo)潔電子級多晶矽還原爐鍾罩清(qīng)洗係統可根據客戶需求(qiú),結合廠商使用的不同鍾罩、車間廠房的情況,能源條件不同,提供個性化設計(jì)。目前,德高潔在(zài)多晶矽還原爐清洗行業已擁有國內90%的用戶,為多晶矽行業提供了幾十(shí)套還(hái)原(yuán)爐清洗係(xì)統。

    德高潔成立(lì)於1994年(nián),在環(huán)保除塵、淨化成套(tào)裝備、工業設備清潔領域已積累了近三十年的業內(nèi)寶貴經驗,期間自主研發並生產了(le)一係列高壓清洗機(120~2800bar)、自動化清洗係統、智能清洗爬壁機器人等(děng),公(gōng)司擁有20餘人(rén)研發團隊,旗下部署工藝組、技術組、質檢(jiǎn)組,實時管控產品性能、質(zhì)量,並通過ISO9001質量體係認(rèn)證。長期服務於國(guó)企、軍工、外資、上市公司等500強(qiáng)企(qǐ)業(yè),德(dé)高潔將繼續以客戶需求為(wéi)基準,用現代技術、標準工藝(yì),竭誠為客戶(hù)服務。

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