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多晶矽還原爐鍾罩清洗係(xì)統(tǒng)
時間:2011-01-11 來源:

多晶矽還原爐鍾罩自(zì)動清洗烘幹(gàn)係統 Bell jar cleaning system
■適用範圍
西門子法多(duō)晶矽(guī)還原(yuán)爐鍾罩(zhào)(爐筒(tǒng))內壁的全自動清洗(xǐ)和烘幹。
■工作原(yuán)理
以高壓水射流為動力,以水力(lì)自(zì)驅動三維洗罐(guàn)器為噴頭,形成360°的網狀噴射表麵(miàn),完成鍾罩內部表麵的(de)水力掃射,用(yòng)專用清洗劑等為主要清洗液,用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗,用高純水衝(chōng)洗,完(wán)成清洗過程。
用經過三級淨化(10萬級)的純淨空氣,梯級(jí)加熱,最終保證烘幹完的鍾罩(zhào)不再結露,可直接進入生產作業。
■係統特點
1)技術能力強,設計合理,根據(jù)客戶需求,總結借鑒國內外還原爐(lú)鍾罩及其它罐類清洗烘幹經驗,充分發揮高壓水清洗和吸除塵的技術優(yōu)勢,設計出本套係統,實(shí)現了還原爐鍾罩的全自動清洗和烘幹操作。可根據使(shǐ)用方不同(tóng)還原爐鍾罩、車間(jiān)廠房的情況,能源條件不同,提供(gòng)個性化設計。
2)設備性能可靠,核心部件、元件(jiàn)和附件原裝進口。
3)自動化程度高:PLC+觸摸屏柔性自動控製(zhì)係統,實現對還(hái)原爐鍾罩的自動清洗和烘幹同時具有半自動或手動功能。
4)適應範圍廣:可以(yǐ)在一套係統實現多種型號還原爐鍾罩的清洗烘幹。
5)節能、環保、安全:提供了(le)預熱(餘熱蒸汽、餘(yú)熱水或油)加熱清洗水及幹燥空氣的方案。全密閉式清洗烘幹係統,基本消除了對現場及操(cāo)作人員的汙染。
6)德高潔集團在北京、上海、深圳、成都、西安、武漢均設(shè)有(yǒu)分公司及辦事處。服務體係網(wǎng)絡健全,零配件充足(zú)。
■工作流程
還原爐鍾罩到位—預清洗(xǐ)—清洗劑(堿液(yè))清洗—漂洗—高純水衝洗—淨化熱空氣幹燥(zào)—常溫(wēn)幹燥—鍾罩吊走。
注(zhù):清洗劑的選擇對清洗效果和作業安全有(yǒu)直接影響,這方麵我公司積累了豐富的實踐經驗(yàn)解決閃爆(bào)等問題。
■基礎條件
1)電源:380V/50Hz,30KW,電纜引至控製櫃。
2)蒸(zhēng)汽:壓力0.175-0.9Mpa(G),到指定接口點。
3)壓縮空氣:不小於流量3NM3/h,壓力(lì)0.6-0.75Mpa(G)(氣動閥、氣缸用(yòng)氣), 指定接(jiē)口點。
4)脫鹽水(shuǐ):可提供條件,不小於100L/min,到指定接口點。
5)純水:不小於 100L/min,到指定接點。
6)清洗劑:NaOH清洗液等,不小於2立方米。
7)占地麵積:36-80平方米(寬約6-7米,長6-12米(mǐ)
8)三廢處理:洗(xǐ)滌後的含酸或堿液廢(fèi)水、廢渣,排放(fàng)到需方(fāng)指定處,由需方自行(háng)處理,配(pèi)排汙水(池、槽)溝;清洗(xǐ)和烘幹產生的廢氣做室外排空排放。
■設備組成(chéng)
1)高壓(yā)熱水清洗動力裝置1套
由高壓熱水清洗機及附件(1套),高(gāo)壓水自驅動三維(wéi)洗罐器(1套),三維洗罐器升(shēng)降裝置(氣(qì)動,1套)組(zǔ)成。
2)熱風淨化烘幹機組(zǔ)1套
進風(fēng)淨(jìng)化(huà)等級:10萬(wàn)級。
3)清洗烘幹工作台及管道(dào)1套
4)電氣控製係統1套。
采用PLC+觸摸屏全自動控製(zhì),全套德高潔版控製軟件(jiàn)。
注:水和風的加熱方式:電加熱,蒸汽、餘熱水或油的熱交換器換(huàn)熱。
■布(bù)置方案(àn)
設備的布(bù)置及工藝(yì)方案,德高潔可以根據各使用廠家的(de)鍾(zhōng)罩、廠房、外(wài)部環(huán)境的不同情況,做個性化設計。
1)一樓布置典型方案。全部設備在1樓清洗間(jiān),不防爆。室外取風、室外排風。
立體圖

2)一、二樓布(bù)置典型方案。清洗烘幹主設備、主控(kòng)製櫃,在1樓設備(bèi)間,不防爆;工作台及遠程控製箱在2樓工作場地。防爆。
立體(tǐ)圖


3)一、二、三樓布置,主機一拖二方案。
立體圖(tú)

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